Response Flow Checklist
量测计画告诉我们应该收集什么资料，何时收集应如何收集，而管制图则告欣我们何时应采取行动以找出问题所在，并解决它。但是管制图并没有告欣我们问题出在那里，也无法用来解决问题，因此我们需要RFC。RFC的结构如下：
※首先，有一组“diagnosis” activities(诊断行动)被用来找出制程不稳定的原因。
一旦原因确定了，则每一个可能的原因会有一组可用来解决问题的“remedy”  
  activities(治疗行动)。
最后一个步骤是“verification””activity(核对证实行动)，执行这个步骤是为了要确定制程问题己被搞定了。
?RFC的格式：
一份RFC应该是一本包含多项行动的小册子，每项行动各占一页。RFC的每一页都应该包含以下各部份：

1.  对策
   指示你如何做：通常是搜集资料，观察，核对。
资料
   将上个步骤所做的评估测量及观察记录在这儿。
问题
   对于所纪录的资料(上个步骤)提出问题。
响应
   针对问题回答“是”或“不是”，并告诉你接下来要做什么。
   
每页RFC的表格样式如下：

   　　
对策“X”
?要执行的动作  签名 日期  时间  
　　 资料：
　　 纪录测量及观察
  
问题“X”
?要回答的问题  
  回答：
YES 到M页执行“Ｙ”。 
 NO  　　　　　 到N页执行“Ｎ”。

EXAMPLE:

Action“B”
检查控制面板上的Switch Setting  签 名 日 期  时间 资料：

Switch Power  Heater  Belt  O2 SiH4   ON  OFF 　　  　
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